在現(xiàn)已開發(fā)的寬禁帶半導(dǎo)體中,碳化硅晶圓(SiC)半導(dǎo)體材料是研究最為成熟的一種。SiC半導(dǎo)體材料由于具有寬禁帶、高擊穿電場、高熱導(dǎo)率、高飽和電子遷移率以及更小的體積等特點(diǎn),在高溫、高頻、大功率、光電子以及抗輻射器件等方面具有巨大的應(yīng)用潛力。
碳化硅的應(yīng)用范圍十分廣泛:由于具有寬禁帶的特點(diǎn),它可以用來制作藍(lán)色發(fā)光二極管或幾乎不受太陽光影響的紫外線探測(cè)器;由于可以耐受的電壓或電場八倍于硅或砷化鎵,特別適用于制造高壓大功率器件如高壓二極管、功率三極管以及大功率微波器件。
由于具有高飽和電子遷移速度,可制成各種高頻器件(射頻及微波);碳化硅是熱的良導(dǎo)體, 導(dǎo)熱特性優(yōu)于任何其它半導(dǎo)體材料,這使得碳化硅器件可在高溫下正常工作。目前硅晶圓銷售這塊還是非常熱門的,所以市場還是非常不錯(cuò)的。